高纯水pH分析仪(见图2-16)的监测过程为：水样先流过高纯水传感器的流通池，再流经流量计，最后流出而板。其中流量计将样品流入流通池的流速控制在0~300mL/min的范围内。传感器通过单独的线缆将毫伏信号和温度信号传送到接线盒，接线盒将模拟的pH信号和温度信号翻译成数字信号。最后由数字控制器显示出 pH值和温度值。
                 
        高纯水pH分析仪与普通条件下应用的pH分析仪有很大的不同，高纯水pH分析仪系统是专门为了纯水和超纯水的连续测量而设计的。它使用的参比电极类似于测量电极（PH电极），可以将测量的阻抗最小化。本体是316L不锈钢材质，可以保护测量不受静电和磁力扰动的影响。循环室的没计中没有保留区，这样可以避免C0₂的分解、气泡的聚集或下溶沉淀聚集物(氧化铁、树脂盐析的残留物等)的干扰。
       高纯水pH分析仪采用的是自加压参比电极，将恒定流速的电解液引入样品流中。这种 流速恒定的电解液可以减少电解液振动的影响，电解液振动会引起参比连接电势的相移动。此外，电极（PH电极）安放在一个特殊的不锈钢机箱和独特的导电流通池中，可以在上减少流 动电流的影啊.流动电流会导致高纯水中的pH值的测量产生漂移。