隔膜式计量泵利用特殊设计加工的柔性隔膜取代活塞，在驱动机构作用下实现往复运动，完成吸入-排出过程。由于隔膜的隔离作用，在结构上真正实现了被计量流体与驱动润滑机构之间的隔离。高科技的结构设计和新型材料的选用已经大大提高了隔膜的使用寿命，加上复合材料优异的耐腐蚀特性，隔膜式计量泵目前已经成为流体计量应用中的主力泵型。在隔膜式计量泵家族成员里，液力驱动式隔膜泵采用液压油均匀驱动隔膜，克服了机械直接驱动方式下泵隔膜受力过分集中的缺点，提升了隔膜寿命和工作压力上限。为了克服单隔膜式计量泵可能出现的因隔膜破损而造成的工作故障，有的计量泵配备了隔膜破损传感器，实 现隔膜破裂时自动联锁保护，具有双隔膜结构泵头的计量泵进一步提高了其安全性。适合对安全保护特别敏感的应用场合。隔膜泵泵头结构如图3-55所示。
                       
        作为隔膜式计量泵的一种，电磁驱动式计量泵由脉冲发生电路产生频率和脉宽可分别调节的脉冲波。经功率放大后操作含有铁芯的电磁线圈，铁芯在脉冲电磁力的瞬间推动和复位弹簧力的综合作用下带动膜片往复运动，完成吸入、排出流体的任务。电磁驱动式计量泵的结构比较简单，无需电机和变速机构，动作频率易于控制，是小量程低压计量泵的重要分支。
       目前，精密计量泵技术已经非常成熟，其流体计量输送能力可达0~100000L/h，工作压力达4000bar，工作范围覆盖了工业生产所有领域的要求。