臭氧氧化法的主要优点: 
(a) 臭氧对臭味、色度、细菌、有机物和无机物都有显著的去除效果;
(b) 废水经处理后，残留于废水中的臭氧容易自行分解，一般不产生二次污染，并且能增加水中的溶解氧;
(c) 制备臭氧用的电和空气不必储存和运输，操作管理也较方便。
但这种方法也存在一些缺点:
(a) 臭氧发生器耗电量较大，运行成本较高:
(b) 高浓度臭氧是有毒气体，对眼及呼吸器官有强烈地刺激作用，因此在操作时应该注意个人防护，并加强通风;
(c) 臭氧具有强腐蚀性，与之接触的容器、管路等均应采用耐腐蚀材料或作防腐处理，耐腐蚀材料可用不锈钢或塑料;
(d) 臭氧的利用率较低，造成投加量增加。这些缺点限制了臭氧在废水处理中的应用，目前臭氧氧化法主要用于低浓度、难降解有机废水的处理和消毒杀菌。